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气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）是一种高精度控制气体流量的自动化设备，广泛应用于半导体制造、生物医药、化工反应、能源研究等领域。其核心功能是通过闭环反馈系统，实时测量并精确调节气体的质量流量，不受温度、压力等环境变化的影响，确保气体输送的稳定性与准确性。
MFC的基本结构包含四个关键部分：
传感器：通常采用热式（如热丝或热膜）或差压式原理，直接测量气体的质量流量（单位多为sccm或slm），避免了体积流量因温压变化产生的误差。
控制器：内置微处理器，接收传感器的流量信号，并与设定值对比，通过PID算法计算调节量。
执行器：多为压电阀或电磁比例阀，根据控制器指令实时调整阀门开度，精确控制气体流量。
人机界面：通过按键、显示屏或通讯接口（如RS485、EtherCAT）实现流量设定、参数监控与远程控制。
其工作流程为：用户设定目标流量后，传感器实时监测实际流量并反馈给控制器，控制器驱动执行器动态调节阀门，使实际流量稳定在设定值附近，控制精度通常可达±0.5%~±2%满量程。
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https://www.gkzhan.com/st319257/erlist_1764472.html
http://www.schaloder.net/SonList-1764472.html